发明名称 FREMGANGSMAATE OG ANORDNING FOR AA SKJERME EN ARBEIDSSTYKKEHOLDENDE MEKANISME MOT FORRINGENDE VIRKNINGER UNDER BEHANDLING AV ARBEIDSSTYKKET
摘要
申请公布号 NO931030(D0) 申请公布日期 1993.03.22
申请号 NO19930001030 申请日期 1993.03.22
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 MUMOLA, PETER B.
分类号 C23F1/08;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/68;H01L21/683;H01L27/12;(IPC1-7):H01L/;H05H/ 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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