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发明名称 FREMGANGSMAATE OG ANORDNING FOR AA TILVEIEBRINGE VARIABEL, ROMMESSIG FREKVENSSTYRING I PLASMAASSISTERT, KJEMISK ETSING
摘要
申请公布号 NO931029(D0) 申请公布日期 1993.03.22
申请号 NO19930001029 申请日期 1993.03.22
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 MUMOLA, PETER B.
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L27/12;(IPC1-7):H01L/;H05H/ 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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