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发明名称 GROWTH APPARATUS OF SEMICONDUCTOR CRYSTAL THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0567570(A) 申请公布日期 1993.03.19
申请号 JP19910256009 申请日期 1991.09.09
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 SHIBATA TOMOHIRO;KONDO NAOTO;NANISHI YASUYUKI;FUJIMOTO MASATOMO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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