| 发明名称 |
PROBE UNIT, AND SCANNING TUNNELING MICROSCOPE AND DATA PROCESSOR USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0566107(A) |
申请公布日期 |
1993.03.19 |
| 申请号 |
JP19910255909 |
申请日期 |
1991.09.09 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SHIMADA YASUHIRO;YAGI TAKAYUKI;NAKAYAMA MASARU;TAKAMATSU OSAMU |
| 分类号 |
G01B7/34;G01N37/00;G01Q60/10;G01Q60/16;G01Q80/00;G11B9/00;G11B9/14 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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