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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0567688(A) 申请公布日期 1993.03.19
申请号 JP19910229262 申请日期 1991.09.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KAWAUCHI SHINJI
分类号 H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/78 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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