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发明名称 CAPPING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0567690(A) 申请公布日期 1993.03.19
申请号 JP19910255752 申请日期 1991.09.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YOSHIDA KAZUTOMI
分类号 H01L21/50;H01L23/02;H01S5/00 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
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