| 发明名称 |
THIN AL-ALLOY LIGHT-SHIELDING FILM AND AL-ALLOY SPUTTERING TARGET FOR FORMING THIN LIGHT-SHIELDING FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0565631(A) |
申请公布日期 |
1993.03.19 |
| 申请号 |
JP19910230497 |
申请日期 |
1991.09.10 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
ONISHI TAKASHI;YOSHIKAWA KAZUO |
| 分类号 |
C22C21/00;C23C14/14;C23C14/34;G02F1/1343 |
主分类号 |
C22C21/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
