发明名称 PROCESS FOR PRODUCING A SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE INCLUDING A MISFET
摘要
申请公布号 HK20993(A) 申请公布日期 1993.03.19
申请号 HK19930000209 申请日期 1993.03.11
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 OKUYAMA, KOUSUKE;SUZUKI, NORIO;MEGURO, SATOSHI;NAGASAWA, KOUICHI
分类号 H01L27/092;H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L29/41;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/00;H01L21/265;H01L21/28;H01L27/08 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
主权项
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