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发明名称 FLATTENING METHOD FOR INSULATING FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0567607(A) 申请公布日期 1993.03.19
申请号 JP19910083395 申请日期 1991.03.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 UMEDA KOJI;KANEOKA TATSUNORI
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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