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经营范围
发明名称
ETCHING METHOD FOR THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH0567604(A)
申请公布日期
1993.03.19
申请号
JP19910227366
申请日期
1991.09.06
申请人
RICOH CO LTD
发明人
AOKI MASAKANE
分类号
H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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