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发明名称 PLASMA CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0565653(A) 申请公布日期 1993.03.19
申请号 JP19910227339 申请日期 1991.09.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 TETSUKA TSUTOMU;YOSHIOKA TAKESHI;SHIMA KENZO;SUZUKI KAZUO
分类号 C23C14/35;C23C16/50;C23C16/511;C30B33/04;H01L21/31;H01P5/16;H05H1/16 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
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