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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE WIRING
摘要
申请公布号
JPH0567686(A)
申请公布日期
1993.03.19
申请号
JP19910227835
申请日期
1991.09.09
申请人
HITACHI LTD
发明人
FUKADA SHINICHI;SUWA MOTOHIRO;KUDO KAZUE
分类号
H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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