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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH0567676(A) 申请公布日期 1993.03.19
申请号 JP19910252905 申请日期 1991.09.05
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;OUME KOSUMOSU DENKI KK 发明人 HAYASHI YUTAKA;YOSHIHARA HIROAKI;MAEYASHIKI YOSHIKI
分类号 H01L21/76;H01L27/146 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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