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发明名称 SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0565634(A) 申请公布日期 1993.03.19
申请号 JP19910227448 申请日期 1991.09.06
申请人 ROHM CO LTD 发明人 HANADA YOSHIAKI
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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