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发明名称 BEHANDLUNGSAPPARAT UND -VERFAHREN.
摘要
申请公布号 DE3874638(T2) 申请公布日期 1993.03.18
申请号 DE19883874638T 申请日期 1988.06.23
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX., US 发明人 LOEWENSTEIN, LEE M., PLANO TEXAS 75074, US;FREEMAN, DEAN W., GARLAND TEXAS 75042, US;DAVIS, CECIL J., GREENVILLE TEXAS 75401, US
分类号 H01L21/31;C23C16/34;C23C16/48;C23C16/517;H01L21/318;(IPC1-7):C23C16/34;C23C16/50 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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