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发明名称 POLYKRISTALLINES SILIZIUM.
摘要
申请公布号 DE68904700(D1) 申请公布日期 1993.03.18
申请号 DE19896004700 申请日期 1989.05.31
申请人 ADVANCED SILICON MATERIALS INC., MOSES LAKE, WASH., US 发明人 FLAGELLA, ROBERT NICHOLAS, RIDGEFIELD WASHINGTON 98642, US;DAWSON, HOWARD JEROME, WASHINGTON 98671, US
分类号 C01B33/037;C01B33/02;C01B33/035;C30B13/00;C30B13/16;C30B29/06;(IPC1-7):C01B33/02 主分类号 C01B33/037
代理机构 代理人
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