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发明名称
摘要
申请公布号
DE3733100(C2)
申请公布日期
1993.03.18
申请号
DE19873733100
申请日期
1987.09.30
申请人
MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
HAGINO, HIROYASU, ITAMI, HYOGO, JP
分类号
H01L29/74;H01L29/32;H01L29/744
主分类号
H01L29/74
代理机构
代理人
主权项
地址
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