发明名称 MAGNETIC ELECTRON LENS AND ELECTRON MICROSCOPE USING SAME
摘要 Lentille électronique magnétique analogue à une lentille optique concave et utilisable dans les appareils à faisceau de particules chargées tels qu'un microscope électronique. La lentille concave magnétique comporte une première et une seconde bobines (2, 3) destinées à engendrer des champs magnétiques, constituées d'un supraconducteur et disposées dans la trajectoire du faisceau de particules chargées; ainsi qu'un premier et un second écrans magnétiques (1, 4) disposés de manière qu'ils entourent, respectivement, la face supérieure de la première bobine et la face inférieure de la seconde bobine. Grâce au premier écran magnétique (1), le champ magnétique engendré au niveau de la face supérieure de la première bobine (2) est bloqué. De la même façon, le second écran (4) bloque le champ magnétique engendré au niveau de la face inférieure de la seconde bobine (3).
申请公布号 WO9305529(A1) 申请公布日期 1993.03.18
申请号 WO1992JP01076 申请日期 1992.08.26
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 HOSOKI, SHIGEYUKI
分类号 G01Q30/10;G01Q30/18;H01J37/141 主分类号 G01Q30/10
代理机构 代理人
主权项
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