发明名称 A METHOD OF MAKING SEMICONDUCTOR COMPONENTS AS WELL AS A SOLAR CELL MADE THEREFROM.
摘要 On fabrique des zones dopées sur des composants semi-conducteurs, en appliquant sur une partie de la surface du substrat du semi-conducteur une couche formant un masque d'oxydation qui contient le dopant; on chauffe ledit substrat de semi-conducteur avec la couche formant masque, à une température suffisante à la diffusion d'une partie du dopant depuis la couche formant masque vers le substrat semi-conducteur sur les surfaces non protegées duquel s'effectue également un auto-dopage indésirable pendant le processus de dopage; pour cette raison, les zones auto-dopées du substrat du semi-conducteur sont supprimées par attaque alcaline ou plasmique, ladite couche formant masque constituant une barrière protectrice pour les zones dopées se trouvant au-dessous de la couche formant masque. Dans la fabrication d'une cellule solaire possédant deux zones dopées de types conducteurs P et N respectivement, on peut utiliser la distance située entre des deux zones dopées pour régler le gradient du courant d'obscurité au moyen d'une diode polarisée dans le sens de blocage.
申请公布号 EP0531430(A1) 申请公布日期 1993.03.17
申请号 EP19910911085 申请日期 1991.05.29
申请人 SAFIR, YAKOV 发明人 SAFIR, YAKOV
分类号 H01L31/04;H01L;H01L21/225;H01L31/0216;H01L31/068;H01L31/18;H01L31/20 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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