MICRO-MECHANICAL COMPONENT AND PROCESS FOR MANUFACTURING IT.

摘要

Il est décrit un composant micromécanique comportant un corps porteur et, disposé parallèlement à la surface du corps porteur, un élément plat déformable muni d'un convertisseur mécano-électrique de signaux. Dans le cas des composants connus, l'élément déformable n'est pas isolé électriquement du corps porteur. C'est pourquoi il ne convient pas à une intégration commune avec des circuits électriques en technologie CMOS. Le composant selon l'invention se caractérise en ce que le corps porteur (5) et l'élément déformable (4) peuvent être fabriqués d'une seule pièce à partir d'un substrat semi-conducteur et isolés électriquement l'un de l'autre. L'isolation est obtenue de préférence par une couche enfouie (3) produite par implantation ionique.