场分布自动电光检测装置

摘要

一种电场分布自动电光检测装置，包括光路系统、光电探测器和锁相放大器，特征是设置了以微机控制的二维步进驱动系统，实现探测激光对被测样品的二维自动扫描，并从锁相放大器输入表征被测样品内电场强度的电压量，进行自动采集、处理、存贮、显示或曲线描绘。该装置测量灵敏度和扫描精度高，测量重复性好，缩短了测量时间，提高了效率。采用不同光源的光路系统和不同的检测方式，可测量不同的材料及其器件中电场分布及有关特性。

主权项

1、一种电场分布自动电光检测装置，包括激光器[1]、准直物镜[2]、滤光片[20]、分束器[4]、聚焦物镜[5]、固定在样品架上的被测样品[6]、分束器[7]、透镜[8]、电视摄像机[9]、滤光片[19]、1/4波片[13]、检偏器[14]、聚焦物镜[15]、光电探测器[16]、锁相放大器[17]、激励电路[18]，本发明的特征在于设置了一个以微机为主体的数据采集、处理系统[25]和一个二维步进驱动系统，驱动样品架作二维步进移动的是微机控制的二维步进驱动系统，微机对锁相放大器[17]输入的表征被测样品[6]内电场强度的电压量，进行自动数据采集、处理、存贮，最后进行屏幕显示或进行曲线描绘的是微机的终端记录设备[26]。