| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR FORMING THIN ORGANIC FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0270348(B1) |
申请公布日期 |
1993.03.17 |
| 申请号 |
EP19870310589 |
申请日期 |
1987.12.01 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
WAKAYAMA, SHIGERU C/O PATENT DIVISION;MIURA, AKIRA C/O PATENT DIVISION |
| 分类号 |
B05C3/10;B05C3/109;B05C11/11;B05D1/20 |
主分类号 |
B05C3/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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