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发明名称 METHOD FOR CONTROLLING INTERFACIAL OXIDE AT A POLYCRYSTALLINE/MONOCRYSTALLINE SILICON INTERFACE
摘要
申请公布号 US5194397(A) 申请公布日期 1993.03.16
申请号 US19910710498 申请日期 1991.06.05
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 COOK, ROBERT K.;KNEPPER, RONALD W.;KULKARNI, SUBODH K.;LANGE, RUSSELL C.;RONSHEIM, PAUL A.;SUBBANNA, SESHADRI;TEJWANI, MANU J.;YUN, BOB H.
分类号 H01L21/205;H01L21/225;H01L21/285;H01L21/316;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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