| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0563150(A) |
申请公布日期 |
1993.03.12 |
| 申请号 |
JP19910291194 |
申请日期 |
1991.11.07 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KANDA AKIHIRO;TANAKA MITSUO;HIRAI TAKEHIRO;NAKATANI MASAHIRO |
| 分类号 |
H01L21/761;H01L21/76;H01L21/8226;H01L21/8228;H01L27/082 |
主分类号 |
H01L21/761 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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