发明名称 THIN FILM GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0562915(A) 申请公布日期 1993.03.12
申请号 JP19910244648 申请日期 1991.08.29
申请人 NISSAN MOTOR CO LTD 发明人 UCHIYAMA MAKOTO
分类号 C30B25/12;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 C30B25/12
代理机构 代理人
主权项
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