发明名称 TRANSMISSION TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0562632(A) 申请公布日期 1993.03.12
申请号 JP19910219592 申请日期 1991.08.30
申请人 HITACHI LTD;HITACHI SCI SYST:KK 发明人 TERAKADO SADAO;KOBAYASHI HIROYUKI;KUBOZOE MORIKI
分类号 H01J37/22;H01J37/26 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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