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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0563003(A) 申请公布日期 1993.03.12
申请号 JP19910246614 申请日期 1991.08.31
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAGUCHI YUKIKO
分类号 H01L21/28;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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