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经营范围
发明名称
ELECTROSTATIC EVALUATION MONOTHILIC INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH0563045(A)
申请公布日期
1993.03.12
申请号
JP19910246691
申请日期
1991.08.31
申请人
NEC CORP
发明人
OHATA NORIYUKI
分类号
G01R31/26;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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