发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0562928(A) 申请公布日期 1993.03.12
申请号 JP19910248401 申请日期 1991.09.03
申请人 NEC CORP 发明人 ONODERA KAZUMASA
分类号 H01L21/28;H01L21/338;H01L29/43;H01L29/47;H01L29/812;H01L29/872 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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