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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0563200(A) 申请公布日期 1993.03.12
申请号 JP19910222896 申请日期 1991.09.03
申请人 CANON INC 发明人 KOUCHI TETSUNOBU
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L27/08;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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