| 发明名称 |
METHOD FOR MEASUREMENT OF FILM THICKNESS OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0563053(A) |
申请公布日期 |
1993.03.12 |
| 申请号 |
JP19910219454 |
申请日期 |
1991.08.30 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TANAKA HIROYUKI;HIRASHITA NORIO |
| 分类号 |
G01J3/42;H01L21/66;H01L27/10 |
主分类号 |
G01J3/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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