发明名称 APPLICATION OF PROTECTIVE TAPE TO SEMICONDUCTOR WAFER AND METHOD OF EXFOLITATING
摘要
申请公布号 JPH0562950(A) 申请公布日期 1993.03.12
申请号 JP19910244883 申请日期 1991.08.29
申请人 NITTO DENKO CORP 发明人 KANEHARA MATSURO;KAWASHIMA YUJIRO;SEKIDO TOSHIYUKI;KURODA SHIGEHISA
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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