发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0563187(A) 申请公布日期 1993.03.12
申请号 JP19910224168 申请日期 1991.09.04
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 IWAMATSU SEIICHI
分类号 H01L21/76;H01L21/338;H01L29/78;H01L29/812 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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