发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0562996(A) |
申请公布日期 |
1993.03.12 |
申请号 |
JP19910040175 |
申请日期 |
1991.03.06 |
申请人 |
FUJI XEROX CO LTD |
发明人 |
YAMADA TAKAYUKI;NAKAMURA TAKESHI |
分类号 |
H01L27/12;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L27/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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