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发明名称 ORGANIC METAL VAPOR EPITAXIAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH0562914(A) 申请公布日期 1993.03.12
申请号 JP19910244025 申请日期 1991.08.30
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 HATTORI SATOSHI;KOSEKI TAKASHI;YOTSUYA KAZUO
分类号 H01L21/205;H01L21/304 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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