| 发明名称 |
PLASMA PROCESSOR AND PLASMA CLEANING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0562936(A) |
申请公布日期 |
1993.03.12 |
| 申请号 |
JP19910222766 |
申请日期 |
1991.09.03 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
SEKIYA HIDENORI;SHIRAKAWA KENJI |
| 分类号 |
C23C14/02;B08B7/00;C23C14/00;C23C16/44;C23G5/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
C23C14/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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