| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD OF AUTOMATICALLY SEPARATING SUPERPOSED WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0563058(A) |
申请公布日期 |
1993.03.12 |
| 申请号 |
JP19920018267 |
申请日期 |
1992.01.07 |
| 申请人 |
WACKER CHEMITRONIC GES ELEKTON GRUNDSTOFFE MBH |
发明人 |
BUARUTAA FURANKU;ARUABERUTO PEMUBUIIZAA;GERUHARUTO SUPATSUTSUIAA |
| 分类号 |
B65G49/07;B65H41/00;H01L21/00;H01L21/677;H05K13/00 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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