| 发明名称 |
MANUFACTURE OF INSULATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0562969(A) |
申请公布日期 |
1993.03.12 |
| 申请号 |
JP19910220812 |
申请日期 |
1991.09.02 |
| 申请人 |
FUJI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
SASAKI MITSUO;KATAGIRI GENICHI;SHIMIZU AKIO;TSUJI NAOTO;KOGUCHI MAKOTO |
| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/511;G01N24/14;G01R33/64;H01L21/31;H01L21/316;H05H1/16 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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