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经营范围
发明名称
LASER ANNEALING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0562924(A)
申请公布日期
1993.03.12
申请号
JP19910224205
申请日期
1991.09.04
申请人
SONY CORP
发明人
KIMURA HIDEKI
分类号
H01L21/20;H01L21/265;H01L21/268
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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