发明名称 LASER ANNEALING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0562924(A) 申请公布日期 1993.03.12
申请号 JP19910224205 申请日期 1991.09.04
申请人 SONY CORP 发明人 KIMURA HIDEKI
分类号 H01L21/20;H01L21/265;H01L21/268 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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