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发明名称 BUBBLING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0562910(A) 申请公布日期 1993.03.12
申请号 JP19910222787 申请日期 1991.09.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OHORI TATSUYA;TAKECHI MASARU
分类号 H01L21/205;H01L21/223 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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