| 主权项 |
1﹒一种备有减压室用之门闸装置之处理系统,主 要具有:通到减压室且为了 将被处理体搬入及搬出用的门闸口予以开闭之门 闸装置的处理系统,其特 征存于具备有:界定上述门闸口之壁手段;和与上 述门闸口四周的上述壁 手段卡合而被口上述门闸口之门闸手段;和将上述 门闸手段,在对于上述 门闸口接近及离开的第1方向上可动地予以支持之 支持手段;和使上述支 持手段在与上述第1方向大致垂直相交的第2方向 动作之驱动手段;和被 配设在上述门闸手段的上述第2方向之端部的制动 器片:上述制动器片之 表面系朝向上述门闸口发散地倾斜;而且上述制动 器片系由蓝宝石、红宝 石及以铁或镍为基质的复硼化物系硬质合金所构 成之群中被选的材料所形 成者;和被配置成能抵接在上述制动器片之上述表 面的滚子;上述滚子之 旋转轴系对上述壁手段相对地被固定;和使经由上 述制动器片而被赋予于 上述滚子的上述门闸手段之上述第2方向的加势力 之一部份,变换成在市 向上述壁手段的上述门闸手段之上述第1方向的移 动及加势力之变换手段 者。 2﹒如申请专利范围第1项之处理系统,其中,上述门 闸装置系将朝向磁控管 等离子蚀刻装置的门闸口予以开闭者。 3﹒如申请专利范围第1项之处理系统,其中,上述门 闸装置为肘节式门闸装 置者。图示简单说明: 第l图,为显示编入有关本创作的肘节 式门闸装置之磁控管等离子蚀刻糸统的配置 之一部份切开概略平面图。 第2图,为编入第l图图示系统的磁控 管等离子蚀刻装置之直剖面图,系沿箸第l 图的 一 线者。 第3图,为显示编入第l图图示系统之 有关本创作的肘节式门闸装置之一部份切开 正面图。 第4图,为第3图图示的肘节式门闸装 置之直剖侧面图。 第5图,为第3图图示的肘节式门闸装 置之横剖平面图。 第6图,为显示在第3图图示的肘节式 门闸装置之门闸上部与制动器片的关系之图。 |
