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发明名称 ABBILDUNGSSYSTEM FUER STRAHLUNG GELADENER TEILCHEN MIT SPIEGELKORREKTOR
摘要
申请公布号 DE4129403(A1) 申请公布日期 1993.03.11
申请号 DE19914129403 申请日期 1991.09.04
申请人 FA. CARL ZEISS, 7920 HEIDENHEIM, DE 发明人 ROSE, HARALD, PROF. DR., 6100 DARMSTADT, DE;PREIKSZAS, DIRK, 8750 ASCHAFFENBURG, DE;DEGENHARDT, RALF, 6050 OFFENBACH, DE
分类号 H01J37/12;G01Q30/06;H01J37/04;H01J37/153;H01J37/26;H01J37/29 主分类号 H01J37/12
代理机构 代理人
主权项
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