| 发明名称 | 采用金刚石涂层的模制场致发射电子发射极及其制造方法 | ||
| 摘要 | 置于导电/半导电材料层(407)表面的利用金刚石材料涂层(406)的场致发射电子发射极由包括以下步骤的方法构成：在经选择成型的衬底(401)的表面注入碳离子(404)，对形成金刚石晶体来说起集结区的作用。在金刚石(406)上淀积导电层(407)，并去除衬底(401)，留下具有金刚石涂层的电子发射极。 | ||
| 申请公布号 | CN1069827A | 申请公布日期 | 1993.03.10 |
| 申请号 | CN92105475.0 | 申请日期 | 1992.07.06 |
| 申请人 | 莫托罗拉公司 | 发明人 | 罗伯特·C·凯恩;詹姆斯·E·贾斯基 |
| 分类号 | H01J1/30;H01J9/02 | 主分类号 | H01J1/30 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人 | 邹光新 |
| 主权项 | 1、一种形成电子发射极的方法，其特征在于以下步骤：提供一个经选择成形的、具有主表面的衬底(401)；至少在经选择成形的衬底(401)的主表面的一部分，注入离子，作为集结区(404)；最好至少在一些集结区(404)生长金刚石晶体(406)；至少在衬底(401)的主表面的一部分和金刚石晶体(406)上淀积一层导电/半导电材料(407)；以及去除至少一些经选择成形的衬底(401)，由此形成具有置于至少一部分导电/半导电层(407)上的金刚石涂层(406)的电子发射极。 | ||
| 地址 | 美国伊利诺斯 | ||