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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING APERTURED MASK SHEETS
摘要
申请公布号 EP0300572(B1) 申请公布日期 1993.03.10
申请号 EP19880201518 申请日期 1988.07.14
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 VAN DONSELAAR, BASTIAAN JAN;VAN AMSTEL, WILLEM DIRK
分类号 G01M11/00;G01B11/24;G01N21/84;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;G06T7/00;H01J9/14;H01J9/42;H04N7/18 主分类号 G01M11/00
代理机构 代理人
主权项
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