| 发明名称 |
MAGNETRON SPUTTERING ELECTRODE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0559542(A) |
申请公布日期 |
1993.03.09 |
| 申请号 |
JP19910216956 |
申请日期 |
1991.08.28 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
INABA HIROSHI;KATAOKA HIROYUKI;FURUSAWA KENJI;ABE KATSUO |
| 分类号 |
C23C14/35;H01L21/203;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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