| 发明名称 |
LASER VAPOR DEPOSITION OF CRYSTALLINE BORON NITRIDE FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0558794(A) |
申请公布日期 |
1993.03.09 |
| 申请号 |
JP19900400392 |
申请日期 |
1990.12.04 |
| 申请人 |
GENERAL MOTORS CORP <GM> |
发明人 |
GEIRII ERU DOORU;JIEFURII EI SERU;CHIYAARUZU EI PETSUKU |
| 分类号 |
C01B21/064;C30B23/02;C30B23/08;C30B29/38;H01L21/318 |
主分类号 |
C01B21/064 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
