| 发明名称 |
ION BEAM ASSIST FILM FORMING TOOL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0559535(A) |
申请公布日期 |
1993.03.09 |
| 申请号 |
JP19910221845 |
申请日期 |
1991.09.02 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
ROKKAKU TADASHI;KOBAYASHI TOSHIRO;HANANAKA KATSUYASU;MORIMOTO SATOSHI |
| 分类号 |
B23P15/28;C23C14/06;C23C14/22 |
主分类号 |
B23P15/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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