发明名称 |
TARGET COLLIMATOR OF POSITION MEASURING PLOTTER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0560560(A) |
申请公布日期 |
1993.03.09 |
申请号 |
JP19910248226 |
申请日期 |
1991.09.02 |
申请人 |
FUJI PHOTO OPTICAL CO LTD |
发明人 |
MAKIMURA KAZUO;KOJIMA SHIGERU |
分类号 |
G01B11/00;G01C15/00;G01C15/06;G09B29/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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