发明名称 TARGET COLLIMATOR OF POSITION MEASURING PLOTTER
摘要
申请公布号 JPH0560560(A) 申请公布日期 1993.03.09
申请号 JP19910248226 申请日期 1991.09.02
申请人 FUJI PHOTO OPTICAL CO LTD 发明人 MAKIMURA KAZUO;KOJIMA SHIGERU
分类号 G01B11/00;G01C15/00;G01C15/06;G09B29/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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