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发明名称 METHOD FOR EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH0558779(A) 申请公布日期 1993.03.09
申请号 JP19910217332 申请日期 1991.08.28
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 NAKANISHI FUMITAKE
分类号 C30B25/16;C30B29/46;H01L21/208 主分类号 C30B25/16
代理机构 代理人
主权项
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