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发明名称 SCANNING TUNNELING MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0560509(A) 申请公布日期 1993.03.09
申请号 JP19910221418 申请日期 1991.09.02
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TANAKA SEIJI;FUJITA YOSHIJI;MIZUGUCHI SHINICHI;NOMURA TAKESHI
分类号 G01B7/34;G01N37/00;G01Q60/10;G01Q70/02;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
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